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工業真空等離子
  • 產品分類:真空等離子
  • 瀏覽:
  • 聯系人:游先生 18968946288
  • 周小姐 18658398989

產品信息

產品參數

項目 規格
1 設備尺寸 1100mm*1000mm*2014 mm(W*H*D)
(含底輪指示燈)
2 電力需求 380V,16A
3 腔體尺寸 尺寸:400mm*400mm*450mm(W*H*D),70L 材質:304 不銹鋼
4 電極形式 內置平板式電極,尺寸:375*360mm;
5 托盤載物 單層載物面積:340*340mm,共 6 層,層間距:50mm
6 真空泵 油泵,抽速:60m3/h,極限真空:1Pa
7 等離子發生源 13.56MHz;600w 連續可調
8 進氣系統 共 2 路進氣;0-500sccm 質量流量控制器
9 控制系統 PLC+觸摸屏
10 真空測量系統 日本愛發科皮拉尼真空計
11 處理時間 5-60min
12 工作真空度 5-80Pa
13 可使用氣體 Ar、O2、N2、Ar+ H2、CF4、空氣等
14 權限設置 兩級權限

 

設備外形及尺寸參考圖

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